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華高儀器于2025年09月12日發布了文章【島津 SMX-6010：微焦點 X 射線檢測儀】。作為在儀器設備行業服務了多年的經銷商，華高儀器有著專業的儀器銷售團隊以及售后服務人員，在采購前期能給客戶一套專業完善的采購方案以及及時響應的售后服務。

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在需要觀察物體內部結構與缺陷的檢測領域，日本島津推出的 Xslicer SMX-6010 微焦點 X 射線檢測儀，憑借設計與實用的功能，為各類樣品檢測提供支持。該設備屬于堅直照射型 X 射線檢查設備，搭配了島津自主生產的微焦點 X 射線發生器和高分辨率平板探測器，能通過高清晰度與寬動態范圍的圖像，呈現樣品細微的內部結構與缺陷，同時可簡單快速地實現透視 / CT 模式切換，滿足不同工作場景下的多種觀察需求，其檢測范圍覆蓋從體積持續縮小的電子元件到密度逐漸提高的多層實裝基板。

核心 CT 拍攝模式與特點

SMX-6010 配備傾斜 CT 與直線 CT 兩種核心拍攝模式，針對不同類型樣品的檢測需求提供適配方案：

傾斜 CT：在拍攝大型實裝板等樣品時，由于樣品放置于 XY 載物臺上，可將其移近 X 射線發生裝置，進而實現高倍放大拍攝。尤其對于基板上的樣品，不同于直線 CT 易受樣品寬度影響，傾斜 CT 能有效規避這一問題，保障高放大倍率攝影的順利進行。

直線 CT：主要用于拍攝大型基板等樣品，但存在一定使用限制。若為獲取高放大倍率而將樣品靠近 X 射線發生裝置側，在 CT 拍攝過程中，樣品會與 X 射線產生互相干擾，導致無法完成高倍放大攝影，實際應用中需結合樣品特性合理選擇。

系統核心構成與功能

SMX-6010 的系統構成圍繞 “便捷維護、安全使用、適配檢測" 設計，各核心部件功能明確：

X 射線發生裝置：搭載管電壓 160kV、1μm 分辨率的開放管 X 射線發生裝置（注：1μm 分辨率基于 JIMA Chart 測試），實現高壓發生器一體化設計，無需進行高壓電纜維護；同時配備自動調整功能，讓燈絲更換操作更加簡便。

X 射線檢出器：搭載 300 萬像素平板檢出器，為圖像采集提供清晰基礎，助力呈現樣品內部細節。

5 軸載物臺：除樣品搭載對應的 XYZ 軸外，檢出器還可實現傾斜與旋轉動作，通過 5 軸聯動，能夠支持所有角度的檢查工作，適配不同樣品的檢測角度需求。

X 射線防護箱：核心作用是屏蔽設備外部泄漏的 X 射線，確保泄漏到外部的射線低于 1μSv/h；同時具備正面門扉鎖定機構，在 X 射線照射時，正面門扉無法打開；另有聯鎖機構，當門扉處于打開狀態時，5 軸載物臺不會發生移動，從設計上保障使用安全。

碰撞檢測傳感器：在 X 射線檢出器周圍裝有該傳感器，當出現緊急情況（如樣品碰撞）時，驅動系統會立即停止工作，避免設備與樣品受損。

使用條件與配套要求

SMX-6010 在使用條件上有明確標準，僅需在 AC200 V±10 %、1.5 kVA（且接地電阻 100Ω 以下）的電力條件下即可正常動作，無需額外供應空氣、冷卻水等輔助資源，簡化了設備安裝與使用時的配套準備工作，降低了使用場景限制。

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